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芯片代工有中芯國際,那國產光刻機呢?上海微電子已經專研十余年

maliang
maliang 原創
2019-05-24 環球百事網

芯片產業是我國非常薄弱的地方,不僅僅是芯片工程相關的人才缺失,更重要的是設備也稀缺。目前國外主流的芯片已經達到7nm制程工藝,而我國最先進的中芯國際也僅僅能夠量產14nm芯片。而這其中最關鍵的設備就是芯片光刻機。

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我國的光刻機目前只達到90nm,與國外的水平相差太遠。ASML的光刻機已經實現了7nm的制程工藝,而且售價高達1億美元,還是全球排隊購買。之前這種高科技設備對我國都是禁止出口,中芯國際排隊好不容易購買到一臺光刻機,卻在2017年發生“無名”大火,機器還未入境就被燒毀。

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光刻機分為前道光刻機,比如 ASML這種,還有后道光刻機,比如上海微電子。前道光刻機主要用于芯片光刻,面對的客戶是中芯國際,臺積電這些芯片代工廠。而后道光刻機主要用于芯片封裝、屏幕封裝等,面對的客戶是長電科技這種。

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我國光刻機研發布局其實很早,上海微電子在2008年就研發成功了90nm前道光刻機系統 ,但是核心元器件還需要依靠國外供應商。然而國外供應廠商默契的對核心部件實行禁運,導致國產前道光刻機難以進一步發展,無法達到商用價值。而上海微電子不得不轉向后道光刻機的研發,并在針對國內市場,推出了一系列設備。

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其中包括自己生產研發的TFT曝光設備SSB200系列光刻機、LCD Cell段高端屏制造設備、長短寸測量設備、LED/MEMS/功率器件、激光退火設備等等。現在上海微電子生產的設備已經在國內相關產業占據了80%的市場份額,而且國家面對國外的封鎖也組裝了相關的研究部門進行了聯合攻關。并且取得了不錯的成績。

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值得欣慰的是2019年5月初,首臺來自荷蘭ASML公司的EUV光刻機目前已經安全抵達中芯國際。中芯國際透露,通過所有科研人員的努力研發,目前12nm的芯片已經進入客戶驗視階段,如果不出意外的話,很快便有可能將這款12nm的芯片量產。如果良品率、產品質量等各方面都滿足,那么很快便可以實現商用。

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目前世界上能夠制造頂級光刻機的公司屈指可數,荷蘭ASML便是其中之一,而且這家公司目前是世界上最頂尖的光刻機公司,幾乎壟斷了光刻機行業。不管是臺積電還是英特爾,它們的芯片都是通過ASML光刻機制作而成,但這種光刻機不僅售價高昂,還需要排隊購買。

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如果12nm的芯片成功量產,那也就意味著我們離擺脫依賴國外進口芯片的局面更進一步。與此同時我們也避免了被西方國家扼住脖子的風險,所以這款芯片和光刻機對于我們的意義是非同尋常的。特別在目前的國際大環境里,不僅是給所有堅持自主研發企業的興奮劑,也是對外展示我們研發力量的鎮山虎。

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